何謂薄膜製程的問題，透過圖書和論文來找解法和答案更準確安心。 我們找到下列地圖、推薦、景點和餐廳等資訊懶人包

看圖讀懂半導體製造裝置

為了解決何謂薄膜製程的問題，作者菊地正典 這樣論述：

　　清華大學動力機械工程學系教授 羅丞曜  審訂 　　得半導體得天下？ 　　要想站上世界的頂端，就一定要了解什麼是半導體！ 　　半導體可謂現在電子產業的大腦，從電腦、手機、汽車到資料中心伺服器，其中具備的智慧型功能全都要靠半導體才得以完成，範圍廣布通信、醫療保健、運輸、教育等，因此半導體可說是資訊化社會不可或缺的核心要素！ 　　半導體被稱為是「產業的米糧、原油」，可見其地位之重要 　　臺灣半導體產業掌握了全球的科技，不僅薪資傲人，產業搶才甚至擴及到了高中職！ 　　但，到底什麼是半導體？半導體又是如何製造而成的呢？ 　　本書詳盡解說了製造半導體的主要裝置，並介紹半導體

所有製程及其與使用裝置的關係，從實踐觀點專業分析半導體製造的整體架構，輔以圖解進行細部解析，幫助讀者建立系統化知識，深入了解裝置的構造、動作原理及性能。

太陽電池技術入門(第五版)

為了解決何謂薄膜製程的問題，作者林明獻  這樣論述：

　　近年來，環保意識抬頭，全球皆積極研發使用潔淨的再生能源，以減輕傳統發電方式所產生之污染問題。使得太陽能產業得以被重視，也成為未來能源的趨勢。 　　本書作者以多年的經驗由淺入深的對於太陽能電池做詳細的解說，對於太陽光電產業與歷史演進及基本理論做簡單的介紹，使讀者有整體的概念，並分別針對多晶矽原料、單晶矽晶片和多晶矽晶片等原料之製造技術做介紹。對於所有矽基太陽電池的製造技術做說明，包含結晶矽太陽電池、薄膜型結晶矽太陽電池和非晶矽太陽電池等。本書對目前轉換效率最高並用在太空領域的太陽電池III-V族化合物太陽電池之製造技術 、 CdTe化合物太陽電池製造技術、CIS和CIG

S太陽電池製造技術、染料敏化太陽電池之製造技術，這些不同的太陽電池介紹其各有的特色。最後將太陽光電系統與應用做簡單的說明，使讀者可以融會貫通並應用於生活上。本書適用於從事太陽電池產業之工程人員及學術研究者所或是有興趣的人士閱讀。 本書特色 　　1.本書為一本介紹各種太陽電池之製造方法、原料製作及產品應用之入門參考書籍。 　　2.本書輔以生動的彩色插圖，可以幫助讀者對太陽電池製程與理論之理解與吸收程度。 　　3.本書不僅為從事太陽電池產業之工程人員及學術研究者所必備之參考書籍，且非常適合非理工背景之一般讀者之研讀。  

微波氫電漿於不同功率下其氧化銦特定膜應用於低輻射玻璃的影響

為了解決何謂薄膜製程的問題，作者蔡嘉榮 這樣論述：

近年因溫室效應造成氣候變遷，且能源逐年短缺之狀況下，如何節能減碳為各國之首要目標，而低輻射玻璃則為此需求下所發展之產物，故如何達到低輻射玻璃所要求之目的，係為各科學家所追尋探討之方向。本次實驗為透過不同功率之微波氫電漿，觀察其對氧化銦特定膜於低輻射玻璃之影響，使用氧化銦特定膜特的原因是因為它材料便宜，可在常溫下製程，並具有較好的導電性、載子移動率、透光性佳等特性，對整體實驗及人員均較為安全，另通入氫電漿則是因為氫氣可有效降低吸附於薄膜晶界表面的氧，使氧空缺增加且提高載子之濃度，可提升試片導電性，而微波電漿最大好處是可使材料發生質變，可獲得良好且快速的化學反應，並有較高之解離度及單位體

積內的離子質量，所需的反應溫度亦較低。 本次實驗使用原始未鍍膜之玻璃試片，濺鍍氧化銦特定膜後，執行微波氫電漿退火處理，退火之功率參數各別設定為400W、600W、800W，最後將實驗處理過之試片實施量測及與未處理之試片比較，研討改變氫微波電漿之功率對氧化銦特定膜的導電性及光學性質影響，是否造成其對應用於低輻射玻璃的影響。　　經實驗結果比對得知，經不同功率下微波氫電漿處理鍍製的氧化銦特定膜玻璃試片，在光學分析方面，可見光之穿透率由60%下降至約28%，而在電性分析方面，電阻值均大幅增加，載子移動率則下降約97%，載子濃度僅600W時提升約53%，400W及800 W則平均下降約22%，研判

可能為氧化銦部分遭到還原成金屬銦，或因膜厚變厚致使出現較多的干涉現象，使薄膜與基板表面不平整，而造成光穿透率下降，並因微波氫電漿後造成過度的氧空缺，使薄膜結構的缺陷增加，造成載子遷移率下降而使得電性變差。 本次實驗未能達到低輻射玻璃所需之標準，但此研究可做為低輻射玻璃產業對其金屬鍍膜材料選用，及其後處理與特性改善之參考依據。