電漿蝕刻優點的問題,透過圖書和論文來找解法和答案更準確安心。 我們找到下列地圖、推薦、景點和餐廳等資訊懶人包

電漿蝕刻優點的問題,我們搜遍了碩博士論文和台灣出版的書籍,推薦田民波寫的 創新材料學 和蕭宏的 半導體製程技術導論(第三版)都 可以從中找到所需的評價。

這兩本書分別來自五南 和全華圖書所出版 。

國立陽明交通大學 照明與能源光電研究所 曾維宣所指導 郭博弘的 利用電漿增強化學氣相沉積法生產石墨烯,並探討其生長 機制、轉印方式與表面摩擦力 (2021),提出電漿蝕刻優點關鍵因素是什麼,來自於電漿增強式氣相沉積法、單層石墨烯、轉印、摩擦力、分子動力學模擬。

而第二篇論文元智大學 電機工程學系丙組 劉維昇所指導 姜煜的 非晶相雙閘極氧化銦鎵鋅薄膜電晶體的製備 (2021),提出因為有 氧化銦鎵鋅、非晶態、雙閘極的重點而找出了 電漿蝕刻優點的解答。

接下來讓我們看這些論文和書籍都說些什麼吧:

除了電漿蝕刻優點,大家也想知道這些:

創新材料學

為了解決電漿蝕刻優點的問題,作者田民波 這樣論述:

  《創新材料學》共分10章,每章涉及一個相對獨立的材料領域,自成體系,內容全面,系統完整。內容包括半導體積體電路材料、微電子封裝和封裝材料、平面顯示器相關材料、半導體固態照明及相關材料、化學電池及電池材料、光伏發電和太陽能電池材料、核能利用和核材料;能源、信號轉換及感測器材料、電磁相容—電磁遮罩及RFID 用材料、環境友好和環境材料,涉及最新技術的各個領域。本書所討論的既是新技術中所採用的新材料,也是新材料在新技術中的應用。

利用電漿增強化學氣相沉積法生產石墨烯,並探討其生長 機制、轉印方式與表面摩擦力

為了解決電漿蝕刻優點的問題,作者郭博弘 這樣論述:

本論文利用電漿增強式氣相沉積法(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD )來生長高品質的單層石墨烯,利用 PECVD 來生長單層石墨烯的好處有很多,如成長溫度低、不須處理基板表面氧化層等;接著,將利用 PECVD 生長出來的單層石墨烯利用蝕刻法或是泡沫法進行石墨烯的轉印,從這兩種方法轉印的石墨烯各有其優點,且轉印品質皆優異;接著將在銅基板上與矽基板上的石墨烯進行摩擦力的探討,這裡使用了三種變因來探討石墨烯的摩擦行為,並比較自行合成的單層石墨烯與商用的單層石墨烯之間的差異,最後,再以分子動力學(MD)來模擬,以驗證其實驗結果。

半導體製程技術導論(第三版)

為了解決電漿蝕刻優點的問題,作者蕭宏 這樣論述:

  本書譯自Hong Xiao(蕭宏) 原著「Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology」(第二版),提供最新的半導體製程相關加工技術之介紹與各種加工原理之說明與應用,是半導體製程實務最為鉅細靡遺的著作。本書適用於公私立大學、科大、技術學院,電子、電機、資工、機械系『半導體工程』、『半導體製程』、『半導體導論』課程使用。 本書特色   1.本書延續上一版,極完整的章節架構,並更新了各相關新技術。   2.本書的內容集中在最新的積體電路製程技術同時也兼顧較舊的技術以便讀者對積體電路製程技術的歷史發展有更完

整的瞭解。   3.本書提供半導體製程相關加工技術之介紹與各種加工原理之說明與應用,使學生熟悉各種加工原理及其應用領域,以作為投入電子工業之基礎訓練課程。

非晶相雙閘極氧化銦鎵鋅薄膜電晶體的製備

為了解決電漿蝕刻優點的問題,作者姜煜 這樣論述:

本研究主旨在利用雙閘極與最佳通道層厚度製程IGZO薄膜電晶體,使電晶體元件具有更高的場效遷移率與電流開關比。從一開始使用80 nm通道層膜厚的雙閘極IGZO薄膜電晶體,其特性出現較高的場效遷移率21.1 cm2 / V-s,但次臨界擺幅1.609 V / decade、關閉電流3.42 × 10-18 A以及1.21 × 104 的電流開關比非常不理想。接著在這個基礎上,我們減少了沉積通道層的厚度,在膜厚為40 nm時IGZO薄膜電晶體達到了最優電性,呈現出更高的場效遷移率42.2 cm2 / V-s,較好的關閉電流6.93 × 10-11 A與電流開關比1.52× 107,較優的次臨界擺幅

0.848 V / decade,但膜厚為20 nm時IGZO薄膜電晶體呈現出了低開電流的現象,導致電特性有了較大的下降。因此,結果表明利用雙閘極與最佳通道層厚度製程IGZO薄膜電晶體,能展現出優異的元件特性,有助於提高大型顯示器之發展潛力,有助於應用於未來更高畫質的顯示器上。