台積電薄膜製程的問題,透過圖書和論文來找解法和答案更準確安心。 我們找到下列地圖、推薦、景點和餐廳等資訊懶人包

台積電薄膜製程的問題,我們搜遍了碩博士論文和台灣出版的書籍,推薦余宜芳寫的 台積DNA:年輕工作者的40堂修練課 和鄭義榮的 工程數學:微分方程(2版)都 可以從中找到所需的評價。

另外網站特用電子級氣體台積先進製程關鍵|產業新聞也說明:台大化工系教授藍崇文表示,半導體沉積薄膜製程是作為生成絕緣或導體層及半導體層,晶片設計要讓線路產生、讓電流開或關的關鍵製程。過去這項製程大多採用矽甲烷(SiH4)來 ...

這兩本書分別來自天下文化 和五南所出版 。

中原大學 環境工程學系 江謝令涵所指導 楊于賢的 由再生水系統操作成本及產水水質探討再生水水質標準之最適化 (2021),提出台積電薄膜製程關鍵因素是什麼,來自於再生水、再生水水質標準、再生水推動策略。

而第二篇論文國立雲林科技大學 材料科技研究所 陳元宗所指導 黃柏嘉的 熱處理效果對於Co40Fe40W10B10薄膜濺鍍於玻璃基板的結構、磁性、表面能、光學特性研究 (2020),提出因為有 鈷鐵鎢硼、玻璃基板、熱處理、磁性薄膜、磁導率的重點而找出了 台積電薄膜製程的解答。

最後網站台積第三隻小金雞:濃濃半導體味的光學廠,技術狠甩日韓采鈺 ...則補充:流著台積血,一群半導體人領軍的采鈺,是全台唯一晶圓級光學廠,今年獨家 ... 需要突破的挑戰有「鍍膜材料的處理、薄膜製程、薄膜厚度精密度的控制。

接下來讓我們看這些論文和書籍都說些什麼吧:

除了台積電薄膜製程,大家也想知道這些:

台積DNA:年輕工作者的40堂修練課

為了解決台積電薄膜製程的問題,作者余宜芳 這樣論述:

  第一級戰場的修練   第一本關於台積人如何「工作」的書   台積電以極端強調紀律,工作要求嚴苛出名   台積人保守拘謹外表下,體內流動最強悍的生存DNA   這是一本關於台積人如何「工作」的書   也是一本教導如何登上全球頂尖艦隊和一流人才共事的書   你的戰場不一定在台積電,但你應該學習台積人的工作智慧   我對台積電充滿了好奇心。   我想知道,這個國內的標竿企業,   為什麼能在二十年間,從一個工研院獨立出來的晶圓代工廠,   成長為國際級的公司,在全球半導體業舉足輕重?   我想知道,在台積工程師保守拘謹的外表下,隱藏著哪些工作歷練與智慧,   讓他們充分貫徹台積電的執行力,成

為台積電競爭力最堅實的基礎?   我想寫一本關於台積人如何「工作」的書。   台積人嚴謹務實、追求精確、承諾後必定全力以赴的工作態度,   讓我深深感動,他們身上有太多年輕工作者可以學習的工作智慧。   我看到台積電在公司治理上,努力在各種看似衝突的方向中,成功走出一條路來。   例如,台積電一方面極端強調紀律,工作要求嚴苛;   一方面視創新為企業未來成長的關鍵,人人背負創新的壓力,   在紀律與創新之間,如何並行不悖?   台積電非常鼓勵內部競爭,每個廠、每個單位無不拚命求勝,以競爭帶動成長;   但台積電也視團隊合作為最重要的企業文化,   用各種跨部門專案加強員工的合作精神,並以

各種獎勵和績效考核制度強化。   我看到的台積電,當然不是一間完美的公司,   卻絕對是一間努力追求完美的公司。   我看到的台積人,很辛苦、很認真,雖然也會有挫折和無力感,   但工作上「使命必達」的責任感勝過一切。   ──余宜芳   作者簡介 余宜芳   自由撰稿人。   政大新聞系畢業。   曾任職天下文化出版公司、《遠見》雜誌。   著有《宇宙遊子》(天下文化出版),以及十數本譯作。 繪者簡介 Kuan   經歷:   《今周刊》財經雜誌專職插畫   《MOOK自遊自在》旅遊雜誌特約插畫   暢談文化出版特約插畫   寬空間插畫部落格的頭家  

導讀 企業的DNA/湯明哲 序 影響二十、迎向二十/曾繁城 第一部 從青澀到成熟——新人求生法則 你是潛力台積人嗎? 多問是新人的特權 向buddy取經 在羅馬,就用羅馬人的方式 IQ好,AQ更重要 從review中成長 是你處理事情,別讓事情處理 你做錯了,沒關係 與人脈一起成長 會解決問題才是工程師 第二部 老闆通常是對的——談溝通 老闆通常都是對的? 你在對誰溝通? 請說重點好嗎? 你真的聽懂了嗎? email是最危險的溝通 先有共識才好做事 讓我們一起做好這個project吧! 跳出工程師思考——向高一階主管學習 三個象限的學習——工程師進階關鍵 第三部 競爭與合作——團隊精神

既競爭又合作 我和英雄並肩作戰 累積你的合作credit 幫助明天的貴人 在衝突中磨練 默契先從一顆完美的螺絲釘做起 主動出擊,創造位置 當升遷的不是我 第四部 ICIC——在核心價值中成長 與時光一起成長的台積文化 你今天不integrity喔! 適當的commitment紀律,會不會扼殺創新? 創新是份內的工作 用服務博感情——談客戶夥伴關係 當客戶很demanding時 第五部 工作與生活雙贏 選擇權握在你手中 用成就感取代挫折感 轉換,路無限寬廣 其實,生活可以不必那麼精準 當志工傳遞幸福的感覺 用心工作用力玩 過程比結果更重要——玉山高峰會 採訪後記 一段學習與探尋的旅程 余宜芳

附錄 人物表 序 影響二十、迎向二十 曾繁城 台積電副董事長   很高興在公司慶祝二十週年的此時,看到本書的出版,為台積電的企業文化留下寶貴的文字紀錄,也讓我回想起草創那幾年,沒錢沒資源時,大家一起辛苦打拚、遍嚐酸甜苦辣的日子。   一九八七年,在政府支持下,董事長張忠謀先生和我從工研院帶領了一百一十七個同仁出來(以工程師為主),正式成立了台灣積體電路公司。我們的抱負是:台灣只要有一家真正好的大公司,像日本的NEC、荷蘭的飛利浦一樣,什麼都能做,每一樣都很強。可以說,我們抱著想為國家做事、為科技產業奉獻的心情成立了台積電。   我們充滿信心,相信晶圓代工模式一定可以走出一條路來

。畢竟,這是從一九八二年以來,經過長期評估後的決定,而且工研院電子所的試辦工廠曾為日本大廠代工生產一萬片的四吋晶圓,台積電沒有道理不能成功。但是,我們自己雖然很有信心,前幾年可說困難重重,狀況百出。   首先,尋找人才並不順利。由於一開始員工不能認股(必須等到公司增資),一些工程師被其他幾家提供員工認股的半導體公司挖角,我們留人留得很辛苦。同時,雖然我們希望網羅國際化的人才,卻不容易做到,有些目標人選要求等同美國的薪資水平,不符我們堅持的本地薪資水平原則。因此,那兩、三年裡,從設計、研發到工廠管理,我幾乎什麼都要管,每天晚上都在工廠搞到半夜一點鐘。當時經驗不夠,技術與生產能力不穩定,我擔心貨

到底出不出得來,以及品質能否符合客戶需求,只好在工廠盯著,甚至動手一起做。   那時工廠也常出意外。第二年看起來快要損益兩平了,於是我到國外參加科技研討會,沒想到半夜一通電話說工廠出了問題,必須停工兩週,只好趕快回國解決。有一陣子,晶圓忽然變色,我和同仁拚命查,發現原來是氯氣外漏惹的禍。各種麻煩接踵發生,但早期大家就很有參與感,很努力,一出問題,一定澈底搞清楚。   人才的問題,到了一九八九年有大幅進展,蔡力行、蔡能賢等人陸續從美國返台進入台積電服務,他們都是擁有國外博士學位和工作經驗的生力軍。就在同一年,台積電開始興建第二座廠,我告訴他們要達成五個重點:產出要高、良率要高、客戶服務要好、

交貨要準、交貨要短。為了達成這五個目標,設備、製程與線上技術人員成立了品管圈,工程部建立了機器預先維修的制度,製程站點的管制也逐漸成熟。大家同心協力,一點一滴慢慢的磨,一步步把生產做好做穩。而在技術方面,我們一開始就強調建立自主技術能力,這也是後來台積電得以保有領先優勢的原因。   令人欣慰的是,當時大家很團結,生活很單純。為了營造良好的團隊精神,讓回國服務的同仁與本土人才融合在一起,每一季我們都舉辦烤肉活動。後來覺得烤肉還不夠,再舉辦慢跑比賽,鼓勵同仁全家一起來。當時公司還沒有上市,資源有限,但沒錢也可以辦很溫馨的活動,凝聚同仁的情感。直到第七年,才正式舉辦台積運動會。   一九九四年,

公司要上市前,我把主管找過來叮嚀:「下週公司就要上市了,大家都會變得比較有錢,但我希望大家仍然要保持新速實簡的精神,簡單、樸素、迅速、確實,不要太奢華。」這也是我至今秉持的信念,任何一家企業如果只提供物質面,沒有更深層的文化面支撐,絕對是不夠的。特別在變動如此快速的世界,人心容易浮動,企業更需要幫助同仁建立中長期的目標與價值觀,人心才會穩下來,不會在短期的目標與忙碌的節奏中迷失了方向。我希望年輕一代在設立中長期目標時,不要只想可以賺多少錢,而要把眼光放得高遠一些,找出能在未來增長附加價值的目標,然後執著的去做。   晶圓代工已經二十年了,展望未來,技術面當然還有可以進步的空間,經濟效益和應用

面則已逐漸步入成熟期。未來更大的挑戰是如何搭配技術能力的進展,發展出價值等級更高的應用。這當然無法速成,需要時間慢慢烘焙。因此,我希望年輕人要多一點人文的陶冶,多看書與多接觸文化藝術活動,藉以沉澱提煉自己的心靈,有時候,看似對工作無用的東西,其實有大用!   本書寫出很多台積人在工作中成長的故事,提出許多寶貴的經驗與反省,相信能給年輕一代的工作者一些正面的思考。過去二十年,台積電以企業公民的角色,對社會、國家貢獻心力;迎向未來二十年,期望更多優秀的年輕一代加入台積電的行列,一起發揮更大的影響力。 導讀 企業的DNA 湯明哲 台灣大學國際企業系教授   在中古時期黑死病侵襲歐洲時,死亡

率奇高,現代科學家在英國一個鄉村中,發現某一家族的人士在全村被封閉與世隔絕的情形下,必須和黑死病的病人共存,但卻奇蹟式存活下來,利用現代的技術,科學家發現原來同一家族的人士都有具有較特殊的DNA,因此雖受黑死病的侵襲,但仍能躲過一劫。後續的研究發現同樣的DNA也可以幫助抵抗AIDS。   企業就像人類,也有DNA。企業經營環境中的逆流就像SARS或流行病,體質不好的企業,在物競天擇下會被自然淘汰。事實上,企業的淘汰比物種的競爭更激烈,新創的企業,五年的平均存活率是百分之二十,能夠存活三十年的企業很少,所以企業經營絕不能考運氣。長久而言,景氣的循環,技術的變遷,競爭者的進入,在在考驗著企業存活

的本錢。企業的DNA就決定在物競天擇的環境下,企業能否長期存活。哪些是企業的DNA?   企業的DNA就是企業的文化和慣例(routines),企業創業時一定是一群創業夥伴開始,這一批創業團隊,自然形成一些牢固不破的價值觀,例如節省、勤勞、樸實,在雇用人員時,也以這些價值觀評斷員工良窳,久而久之,只有認同這種價值觀的員工會留下。企業競爭環境物競天擇,公司必須要發展出一套套做事的方法,例如新產品開發的程序、顧客服務作業程序、策略形成程序。這一套套的程序接受市場的考驗,不適合的公司即遭淘汰,能應付考驗的公司,將成功的經驗加以精鍊,又形成新的文化和慣例。因此管理學派有一派理論認為公司的成就大小其實

取決於開始的創業團隊的組合。   和生物一樣,組織也有成長的壓力和動機。當創業團隊在市場上獲得初步成功,公司開始擴張,和生物以DNA複製自己一樣,公司擴張時也將原來的一套文化和慣例加以複製,公司成長的愈快,複製的速度愈快,愈保留原來的文化和慣例。但當外界環境開始改變時,公司的文化和慣例也要改變,通常公司並不了解到策略轉折點的到來,仍堅持過去的DNA,無法突變,終至無法生存而被淘汰,這是成功為失敗之母的道理。   公司文化和慣例能夠突變的公司,物競天擇,適合新環境的才能生存。再行複製、成長,到下一波變革的到來。環境中一波波的變革浪潮,就像生物面臨一波波疾病的挑戰,因此公司能創業百年而能屹立不

搖者幾稀,大型公司莫不著重於文化的深耕和變革,而不是汲汲營營於機會的追求。   根據筆者的觀察,公司的成功不超過十年,十年之內一定會遭到環境的變革,例如競爭者的進入,而造成競爭力的衰退,只有優良的DNA才是長期成功的保證。   公司的成功絕不是偶然,能夠鶴立雞群的公司都有一套與眾不同的做法,不是有絕佳的策略定位,就是有獨步產業的領先管理方式。事實上,獨特的策略定位不一定能給公司長治久安的保障,因為競爭者也會選擇同樣的策略定位。因此公司能夠長久成為產業鼇頭,一定是管理優良,有獨特的管理模式,才得以創造模仿障礙,這些獨特的管理模式就是如《HP Way》、《McKinsey Way》、《Gold

man Sachs Way》等書中所述的管理哲學和管理模式。台積電是台灣企業的龍頭廠商,學管理的學者都想一窺台積電管理的奧祕,這本《台積DNA》將台積電人事的哲學做詳盡的介紹,而且儘量以個案的方式陳述,對於讀者有莫大的助益。   其實台積的人事哲學就是台積電組織的DNA。綜觀全書,台積電的DNA始於人事的選擇,然後透過社會化的過程,將員工的價值觀念透過各項慣例和做法,塑造出理念一致的「台積人」,塑造出競爭者無法模仿的競爭優勢。本書啟示多多,讀者宜好好體會。   在紀律與創新之間 就像進了少林寺練功的師父一樣,每天清晨破曉時分就起床練功,是紀律;但在練功的過程中不斷自我挑戰,提升功力,

就是創新。 就像天秤的兩端,沒有嚴謹的紀律(discipline),台積電無法在國內外半導體產業的慘烈競爭中,以優異的製造能力勝出;但如果缺乏創新(Innovation)的動能,台積電未來也難保技術領先優勢。 如何在紀律與創新,這兩組看似矛盾的課題之間,取得巧妙平衡,考驗的不只是台積電,還有許多大大小小的企業。 紀律,是晶圓成功或失敗的關鍵 從工程師做起,目前擔任十二廠奈米薄膜工程二部副理的呂伯雄指出,「一旦進了晶圓廠,操作的是動輒上億元成本的機台,每一批晶圓片價值一、兩百萬,我們常開玩笑,只要一個不小心,轉眼間一台賓士車就泡湯了,因此紀律非常重要。」 他舉例,工程師經常要因應不同產品的需求調

整配方,比如將晶圓片在機台的時間,從十五秒調到十六秒,按照標準作業程序,調整後必須請製造部同仁做重覆確認。 有的工程師認為自己已經親眼確定了,為什麼還要double check,多此一舉呢?但人總有失神的時刻,小數點可能弄錯,或者密密麻麻的數字輸錯了一個,失之毫釐,差之千里。重覆確認的程序,就是希望以制度化將人為疏失降到最低。 一次,一位工程師調整配方後沒有請人確認,結果改出來的數字超過機台設定的範圍,機台一run貨,警鈴聲瞬間大響。這算是重大的人為紀律錯誤,萬一出了錯卻仍在設定範圍內,機台run一天下來,損失將難以估計。「該位工程師因此受到嚴厲的懲處,一定要公開責備,也給其他人警惕,」呂伯雄

說。 紀律,會不會扼殺創新? 然而,隨著台積電在半導體製程愈來愈先進,前所未見的難題層出不窮,現有的知識和資訊往往無法應付,必須倚賴工程師以創新的思維來解決困難。有人不免擔心,一個奉行嚴謹紀律的環境,是否會在無形中束縛了創新的動能? 「其實紀律和創新並沒有太大的衝突,反而兩個方向都可以精進,」王建光打比方,就像進了少林寺練功的師父一樣,每天清晨破曉時分就起床練功,是紀律;但在練功的過程中不斷自我挑戰,提升功力,就是創新。工程師進入fab,嚴格遵守紀律與工作要求,逐漸成熟後一直在尋找改善良率、生產力、降低成本的方法,不會因為紀律影響到創新的動能。

台積電薄膜製程進入發燒排行的影片

#記得打開CC字幕 #太陽能發電ㄉ另一面

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各節重點:
01:10 太陽能發電的污染在哪裡?
01:50 製造太陽能電池會有什麼污染?
02:34 處理這些污染物很難嗎?
03:22 太陽能板是巨型垃圾?
04:15 回收成本要怎麼解決?
05:22 漁電共生會不會有污染風險?
06:05 漁電疑慮1:洗太陽能板會污染到魚塭的水嗎?
06:52 漁電疑慮2:太陽能板擋不住颱風?
07:49 漁電疑慮3:架設太陽能板會影響產值?
08:43 關於漁電共生的補充說明
09:14 我們的觀點
10:41 提問
11:00 掰比

【 製作團隊 】

|企劃:歡歡、宇軒
|腳本:歡歡
|剪輯後製:絲繡
|剪輯助理:范范
|演出:志祺

——

🔺註解
→ 02:30 註1:
例如華盛頓郵報就在 2008 年報導,有中國工廠把四氯化矽直接倒在廠外的土地上,使得那裡的土壤慢慢變得雪白一片、沒辦法再種植作物;附近的居民也表示,空氣中因為含有這些化學物質,所以他們一出門,就會覺得眼睛刺痛、頭昏、呼吸困難。
→ 03:10 註2:
例如光宇材料的技術,可對太陽能及半導體產業每月產生的 6000 多噸廢砂漿進行分離、清洗、改值等工序,重新產出矽粉、氫氣、碳化矽、二氧化矽,重新應用於鋰電池負極材料,及機能衣物等產品,如去年世大運紀念服。
→ 03:17 註3:但薄膜型太陽能電池也會有自己的重金屬污染問題
→ 04:01 註4:一般矽晶體太陽能板組成比例是: 65%~75% 玻璃、10%~15% 鋁框、10% 塑膠和 3%~5% 的矽晶。
→ 04:09 註5:這個成本有包含回收玻璃以外的其他部分
→ 08:09 註6:
當然,按照漁電共生的法規,產量只要有七成就符合標準,但嚴格來說,漁民還是損失了另外三成,這也是大家會有顧慮的地方。
→ 09:36 註7:2015年天下爆出台積電的合作工廠違法傾倒的內幕:
https://www.cw.com.tw/article/article.action?id=5065621

——

【 本集參考資料 】

🌞 一次可以看很多太陽能資訊ㄉ網站們:
→ 陽光伏特家:http://bit.ly/2pe4IR1
→ 太陽能五四三:http://bit.ly/314Mi2h
→ 公視|我們的島:太陽光電系列專題:http://bit.ly/2oAEdFw
/
→ 維基百科|太陽能電池:http://bit.ly/2IMsSZY
→ 科技新報|太陽能真的夠「綠」嗎?還是包裹著糖衣的毒藥:http://bit.ly/2Vy7YTu
→ TVBS|真綠能?太陽能板製程 產生4千噸廢料:http://bit.ly/317MBcR
→ 環境資訊中心|光電循環之路 桶裝廢液污染如何解:http://bit.ly/2q7CvvJ
→ 關鍵評論網|太陽能光電的回收「技術」很環保,卻可能造成2項汙染:http://bit.ly/2B49vXX
→ Energy Trend|廢太陽能板回收有解!台灣太陽能模組回收聯盟成立:http://bit.ly/2Mb1mqQ
→ 科技新報|廢太陽能板惹人嫌?創新回收模式將再創商機:http://bit.ly/2q7DdsT
→ 央廣|工研院研發太陽能板回收技術 獲環保署肯定:http://bit.ly/2oqEXgv
→ 科技新報|退休太陽能板何處去?歐洲首座專門回收廠坐落法國:http://bit.ly/35wsHMa
→ 自由時報|擁核公投控「太陽能板有毒」 太陽光電業者要提告:http://bit.ly/2B44RJt
→ 【能源報導月刊】太陽能板多久洗澡一次?:http://bit.ly/2oAFufM
→ 每日頭條|太陽能發電原理圖,看完秒懂:http://bit.ly/2Mb2lHy
→ 太陽能五四三|颱風對太陽光電系統的影響(1/2)-基礎與支架:http://bit.ly/35uPozY
→ 太陽能五四三|颱風對太陽光電系統的影響(2/2)-模組強度問題:http://bit.ly/33lJMGD
→ 太陽能電池產業製程及污染防治簡介:http://bit.ly/35sHiYG
→ 陽光伏特家|【誤會讓人受盡委屈- 太陽能真的夠「綠」嗎?】:http://bit.ly/319m92D
→ 公視|太陽能產業廢棄物 可回收高純度""""矽"""":http://bit.ly/2IHlAXc
→ 中時|樹立循環經濟體系新典範 成亞廢砂漿回收技術 獨步:http://bit.ly/2B7LCi5

【 延伸閱讀 】

→ 知識力|太陽能的原理、種類與優缺點:http://bit.ly/32bnpmT
→ 達智綠能科技|什麼是太陽能?:http://bit.ly/33tiNsv
→ 科技新報|德國打造熱裂解太陽能回收設備,有望年處理 5 萬片太陽能板:http://bit.ly/2oAGhgK
→ GreenMatch|The Opportunities of Solar Panel Recycling:http://bit.ly/2B3PyQS
→ 中央社|疑颱風釀災 日最大規模水上太陽能板失火:http://bit.ly/2McypuZ
→ SEMI Taiwan|半導體工業廢棄物處理創新技術與趨勢:http://bit.ly/31avfMp
→ 台積電|廢棄物管理:http://bit.ly/2VACuMi
→ 科技報橘|外媒讚「垃圾處理天才」,台灣廢棄物回收技術傲視全球好棒棒:http://bit.ly/2OIstLM


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由再生水系統操作成本及產水水質探討再生水水質標準之最適化

為了解決台積電薄膜製程的問題,作者楊于賢 這樣論述:

因國內長期處於自來水水價不合理情況,且再生水水質未有如自來水水質標準般之統一性標準,廠商信任度降低,導致再生水推動困難,且目前再生水推動案,皆由政府媒合廠商,進行水質、水量討論,配合用水端需求設計水質,進而開發再生水廠,其過程繁瑣,因此再生水水質統一,不僅對再生水在市場上競爭力提高,也簡化政府與廠商間媒合過程,降低再生水水價落差,提高廠商使用意願。目前國內規劃之再生水廠,再生水廠處理方式可概略分為三種情況,RO薄膜處理、MBR處理、砂濾處理,因此本研究將設定三種情境,情境A處理流程為「砂濾+UF+RO+消毒」,水質已達純水等級,符合經濟部建議冷卻用水標準,且皆能符合多數廠商之製程用水要求,情

境B處理流程為「曝氣沉沙+A/O+MBR系統+加氯消毒」,情境C處理流程為「砂濾+UV消毒」,情境B、C水質符合經濟部建議冷卻用水標準,但不符合多數廠商之製程用水要求,需廠商額外增設處理設備。本研究透過分析廠商使用三種情境下再生水之社會總花費,以分析國內工業用水量前十名之行業別,加入再生水費用、建設成本、廠商額外處理費用,情境A社會單位成本31.27元/噸,情境B社會單位成本41.93元/噸,情境C社會單位成本29.15元/噸,情境B相比下較不符合經濟效益,情境A與情境C兩者效益接近,可由情境A、C,分別由以下兩種不同角度進行再生水水質標準訂定。參考情境C再生水水質,進行再生水水質標準訂定,最

具有經濟效益,且建設費用最低,可轉而進行其他再生水補貼等政策,唯因水質不符合大多數廠商製程用水要求,廠商須另增設處理設備,在推動再生水初期,可能導致推動緩慢,但缺水風險日益提升,廠商使用意願應會逐漸提升,長期較符合經濟效益。參考情境A再生水水質,進行再生水水質標準訂定,雖效益不及情境C再生水,但其水質能滿足多數廠商,廠商接受度高,在推動再生水初期應較有效率。

工程數學:微分方程(2版)

為了解決台積電薄膜製程的問題,作者鄭義榮 這樣論述:

  作者融入多年任教之經驗與筆記,撰寫專為大專院校理工科系學生量身打造的「工程數學」教材,主要重點是針對「工程數學」中之常微分方程(ODE)、傅立葉分析(Fourier)以及偏微分方程(PDE)。   本書之重點是將「工程數學」之基本原理與理論之核心內容解釋交代清楚,並輔以例題來加以演練與驗證。同時於每一章最後一節,收納整理歷屆研究所試題以供練習,並讓學生清楚了解每一試題皆是由「工程數學」之基本原理與理論所衍生而出,因此若能熟練其基本原理與理論,相信能在工程數學這一學科上獲得不錯之成績。  

熱處理效果對於Co40Fe40W10B10薄膜濺鍍於玻璃基板的結構、磁性、表面能、光學特性研究

為了解決台積電薄膜製程的問題,作者黃柏嘉 這樣論述:

本研究使用濺鍍法(Sputter)將鈷鐵鎢硼(Co40Fe40W10B10)材料濺鍍在玻璃(glass)基板上,再經由熱處理後,觀測並探討熱處理後材料的結構、磁特性、表面能和光學特性是否發生變化。本研究的變因為薄膜沉積厚度分別為10 nm - 100 nm與熱處理的溫度變化分別為200 °C、250 °C、300 °C、350 °C,再分析薄膜的不同特性。首先量測使用X光繞射儀(X-ray Diffractometer, XRD)分析Co40Fe40W10B10薄膜在不同薄膜厚度與熱處理溫度下的晶體結構;以交替式磁場量測儀(Alternating Gradient Magnetometer,

AGM)進行磁特性分析,用於量測在不同薄膜厚度與熱處理溫度下的Ms、Hc等磁性參數;以交流磁導率分析儀χ_ac(χ_acQuan, MagQu)分析在50 - 25000頻率下不同薄膜厚度與熱處理溫度所量測的結果與趨勢;接著使用接觸角量測儀以DI Water跟Glycerol量測不同薄膜厚度與熱處理溫度下的接觸角並且計算出表面能;最後再用微光學量測儀量測在不同薄膜厚度與熱處理溫度下所產生的薄膜其光學特性。根據XRD量測結果發現Co40Fe40W10B10濺鍍在玻璃基板上,在200 °C、250 °C、300 °C、350 °C下10 - 100 nm沒有明顯的繞射峰,說明Glass/Co40

Fe40W10B10是非結晶(amorphous)狀態。從磁性測量結果得知,Glass/Co40Fe40W10B10薄膜在350 °C 100 nm時有最高的飽和磁化量(MS, saturation magnetization),其值為1233 emu/cm3,適合運用在磁性儲存媒體的讀寫頭上。從χ_ac(χ_acQuan, MagQu)的量測結果發現χ_ac值隨著量測頻率的增加(50 - 25000 Hz)有明顯逐漸下降的趨勢。200 °C薄膜χ_ac值介於0.08 - 1.64,250 °C薄膜χ_ac值介於0.14 - 1.87,300 °C薄膜χ_ac值介於0.16 - 2.27,35

0 °C薄膜χ_ac值介於0.30 - 2.86,得知隨著薄膜厚度與熱處理溫度的增加,χ_ac值也會增加,是因為厚度效應的關係;之後量測最佳共振頻率,發現在不同厚度與熱處理溫度下共振頻率皆低於500 Hz。而接觸角量測出的結果皆小於90°,可以證明Co40Fe40W10B10薄膜為親水性薄膜。表面能計算後的結果得知Glass/Co40Fe40W10B10薄膜在350 °C下100 nm時有最高的表面能,為38.52 mJ/mm2,附著性較強,較容易與MgO磁穿隧層堆疊組成MTJ結構。最後量測光學特性得知200 °C下Glass/Co40Fe40W10B10薄膜在10 nm時有最高的穿透率為32

.7%,但薄膜厚度的增加穿透率會逐漸下降,隨著熱處理溫度的增加穿透率也會逐漸下降從32.7%下降至22.4%。從穿透率與吸收強度圖中得知,隨著薄膜厚度下降,穿透率會上升,吸收強度會隨之降低。證實厚度效應與界面效應會抑制光子信號通過薄膜,影響薄膜光學特性。