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氧電漿清洗機原理的問題，我們搜遍了碩博士論文和台灣出版的書籍，推薦楊子明,鍾昌貴,沈志彥,李美儀,吳鴻佑,詹家瑋,吳耀銓寫的 半導體製程設備技術(2版) 和郭浩中,賴芳儀,郭守義的 太陽能光電技術都 可以從中找到所需的評價。
另外網站氧電漿Harrick也說明：Harrick Plasma 氧電漿機， NTNU MT-10-感應耦合電漿離子蝕刻系統(精儀中心) 感應 ... 電漿和氣體一樣，低壓或真空電漿噴塗（簡稱為lvps或vps）真空電漿噴塗原理和大氣 ...
這兩本書分別來自五南 和五南所出版 。
長庚大學 電機工程學系 李建德所指導 李智強的 提升有機發光二極體元件壽命之研究： 材料製備、元件結構與交流驅動 （2013），提出氧電漿清洗機原理關鍵因素是什麼，來自於有機發光二極體、交流驅動、壽命、電荷堆積、載子遷移率、熱蒸鍍速率。
最後網站電漿清洗機技術優勢及等離子清洗機原理套用 - 華文頭條則補充：透過低溫電漿表面處理，材料表面發生各種物理和化學變化，或發生蝕刻和柔軟，或形成堅硬的交聯層，或引入含氧極性基團，分別提高親水性、附著力、可染性、 ...
半導體製程設備技術(2版)
為了解決氧電漿清洗機原理 的問題，作者楊子明,鍾昌貴,沈志彥,李美儀,吳鴻佑,詹家瑋,吳耀銓 這樣論述：
半導體(Semiconductor)是介於導體(Conductor)與絕緣體(Insulator)之間的材料。我們可以輕易的藉由摻質(Dopant)的摻雜(Doping)去提高導電度(Conductivity)。其中二六族及三五族是為化合物半導體(Compound Semiconductor)材料，大部分是應用於光電領域，如發光二極體(Light Emitting Diode, LED)、太陽能電池(Solar cell)等。而目前的積體電路(Integrated Circuit, IC)領域，主要還是以第四族的矽(Si)為主的元素半導體，也就是目前的矽晶圓(Silic
on Wafer)基底材料(Substrate) 。 在未來的日子，我們可預見晶圓廠裡將有可能全面改為自動化的運作，到那時將不再需要大量的操作人員。而主要的人力將會是工程師(含)以上的職務，所以希望能以此書與各位以及想轉職的朋友們提供一個分享，讓大家都能對於常見的機台設備及其製程技術，有一個全觀的認識，以提升職場的競爭力。
提升有機發光二極體元件壽命之研究： 材料製備、元件結構與交流驅動
為了解決氧電漿清洗機原理 的問題，作者李智強 這樣論述：
目 錄指導教授推薦書口試委員會審定書誌謝 iii中文摘要 iv英文摘要 v目錄 vi圖目錄 ix表目錄 xii第一章 緒論 1 1.1 前言 1 1.2 相關文獻回顧 1 1.3 研究動機 10 1.4 論文架構 11第二章 有機發光二極體的顯示原理及特性 12 2.1 OLED 的發光機制 12 2.2 OLED的元件結構 15 2.3 OLED材料介紹 18 2.3.1陽極 18 2.3.2注入層 18 2.3.3傳輸層 18 2.3.4發光層 19 2.3.5陰極 19 2.4 OLED的驅動模式 20 2.5 OLED的優缺點 20第三章OL
ED實驗製程 24 3.1儀器介紹 24 3.1.1超音波震盪機 24 3.1.2旋轉塗佈機 24 3.1.3曝光機 25 3.1.4氧電漿清洗機 26 3.1.5熱蒸鍍機 26 3.1.6手套箱 27 3.1.7電源電錶 28 3.1.8光譜儀 29 3.1.9吸收光譜儀 29 3.1.10光電子光譜儀 30 3.1.11探針式膜厚儀 31 3.1.12原子力顯微鏡 32 3.1.13示波器 32 3.1.14高溫爐 33 3.2實驗流程 34 3.2.1 基板製作 34 3.2.2 元件製備 35 3.2.3 封裝測試
36 3.2.4 光電特性量測 37 3.2.5 材料特性鑑定 38 3.3驅動電路設計原理 38第四章 實驗結果與分析 42 4.1材料載子遷移率對元件壽命的影響 42 4.2材料蒸鍍速率對壽命的影響 45 4.3元件結構對壽命的影響 47 4.4 元件驅動方式對壽命的影響 51 4.5 驅動波形對元件壽命的影響 55 4.6 驅動波形之工作週期對元件壽命的影響 58第五章 結論與未來展望 60參考文獻 62圖目錄圖1-1(a) 電洞流通元件結構圖和PL光譜強度隨時間變化 2圖1-1(b) 電子流通元件結構圖和PL光譜強度隨時間變化 3圖1-2 AND、ANF、ADF
的化學結構、電洞率與HOMO能階 4圖1-3 藉由反向偏壓之應用增加內部電場的簡易模型 5圖1-4 (a) 時間與電壓關係及(b)亮度與時間關係 6圖1-5 改變陰極載子注入效果對於元件(a)效率及(b)壽命的影響 7圖1-6 改變NPB:Alq3混合比例對於元件壽命的影響 7圖1-7 改變元件注入層材料及驅動方式對元件壽命的影響 8圖2-1(a) 電子、電洞注入 12圖2-1(b) 傳遞電荷 13圖2-1(c) 電子、電洞再結合後發光 14圖2-2 OLED發光原理 15圖2-3各種OLED元件結構 17圖2-4 OLED和LCD之顯示器比較 21圖3-1超音波震盪機原理示意圖及設備實體圖
24圖3-2旋轉塗佈機原理示意圖及設備實體圖 25圖3-3曝光機原理示意圖及設備實體圖 25圖3-4氧電漿清洗機原理示意圖及設備實體圖 26圖3-5熱蒸鍍機原理示意圖及設備實體圖 27圖3-6手套箱與蒸鍍機連結示意圖及設備實體圖 28圖3-7電源電錶構造示意圖及設備實體圖 28圖3-8光譜儀構造示意圖及設備實體圖 29圖3-9吸收光譜儀原理示意圖及設備實體圖 30圖3-10光電子光議儀原理示意圖及設備實體圖 31圖3-11探針式膜厚儀原理示意圖及設備實體圖 31圖3-12原子力顯微鏡原理示意圖及設備實體圖 32圖3-13示波器設備實體圖 33圖3-14高溫爐原理示意圖及設備實體圖 33圖3-1
5本論文實驗流程圖 34圖3-16黃光微影製程流程圖 35圖3-17有機發光二極體元件剝面示意圖 35圖3-18有機發光二極體元件圖案設計圖 36圖3-19元件封裝示意圖，左為上視圖、右為剝面圖 36圖3-20 Labview統計介面 37圖3-21有機發光二極體元件光電特性量測示意圖及設備實體 37圖3-22驅動方塊圖 38圖3-23 ICL8038內部電路圖 40圖3-24 元件驅動測試電路圖 40圖3-25 驅動硬體外觀 41圖4-1 異質接面元件結構及材料的能階與載子遷移率 42圖4-2 使用Alq3及Bebq2之壽命比較 43圖4-3元件的載子複合區模擬圖 44圖4-4 Bebq2蒸
鍍速率(a)0.03、(b)0.13、(c)1.3 nm/s下表面型貌 45圖4-5 改變Bebq2蒸鍍速率之元件壽命比較 46圖4-6 載子複合區模擬圖，插圖為位置48至56 nm的放大圖 47圖4-7 異質接面結構與混合式異質接面結構示意圖 48圖4-8 (a) DCJTB、(b) C545T、(c) DPAVBi壽命增益比較 49圖4-9不同混合比例之(a)載子遷移率及(b)壽命半衰期比較 50圖4-10 三種不同驅動方式對元件壽命的影響 52圖4-11 元件在(a)順向及(b)逆向偏壓下的光電特性 53圖4-12 不同偏壓的亮度變化 54圖4-13 三種不同驅動方式的元件實際亮度 54
圖4-14 藍光磷光元件的(a)電性及(b)發光效率 56圖4-15 三種波形對於藍光磷光元件的壽命影響 57圖4-16 不同逆偏之交流方波對於藍光磷光元件的壽命影響 58圖4-17 不同驅動工作週期對白光元件壽命之影響 59表目錄表1-1 增加OLED 壽命的方法及所預計可達到的壽命增進 7表2-1各項燈源照明比較表 22
太陽能光電技術
為了解決氧電漿清洗機原理 的問題，作者郭浩中,賴芳儀,郭守義 這樣論述：
本書共分為9章，從半導體基本原理到各種不同材料之運作原理和元件結構皆涵蓋在內。第3、4章以佔據市場率最高的矽晶太陽能電池為主；第5章以效率接近矽晶而成本最低的CIGS薄膜太陽能電池為主；第6章介紹效率最高的III-V多接面太陽能電池。第7章著重尚以學術界研發為主的新穎太陽能電池技術介紹。最後第8、9章則讓大家了解太陽能電池的應用及目前高科技的奈米檢測技術。 本書特色 內容涵蓋範圍廣泛，適合有志從事太陽光電研發、生產和應用的工程技術人員閱讀，也可作為研究生和大學高年級學生固態照明課程的教科書或半導體物理、材料科學、照明技術和光學課程的參考書。作者簡介 郭浩中 現職：國立交通大學光
電工程學系教授 學歷：美國伊利諾大學香檳分校(UIUC)電機博士 經歷： 華星光通科技股份有限公司雷射部門經理 安捷倫科技光纖通訊部門資深研究員 伊利諾大學香檳分校化合物半導體及微電子中心研究助理 Lucent Technology Bell Laboratory貝爾實驗室異質接面半導體部研究助理 賴芳儀 現職：元智大學電機工程學系助理教授 學歷：國立交通大學光電工程博士 郭守義 學歷：國立交通大學光電工程博士 現職：長庚大學電子工程學系助理教授 蔡閔安 學歷：國立交通大學電子物理博士 現職：工業技術研究院量測技術發展中心研究員